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Semi-auto FOUP Cleaner

外形尺寸:L*W*H(单位mm)==2100x1500x2700mm(可分体进场,最低进入高度为2300mm)

Auto FOUP Cleaner

外形尺寸:L*W*H(单位mm)=3900x3700x3200mm(进厂搬运组件最大宽度1600mm)

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